半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
新项目背静
该机构为全国进取的半导体行业公测机构,地处珠半圆地域,核心实行中高端处置器的小学划片和装封测试软件。原因地方优质需求严厉,机构决定的推进废水处置方法零尾气排放施工。工程于明年运行,202五年6月竣工投运,处置投资人规模为200吨/日,总投资人约2000万块人民币。
废液化学物质及渠道
本次目的性划区废液还具有下面的性能:
高氧化还原电位氟化物,大部分产自晶圆割孔后的除污步骤,氟阴阳离子氧化还原电位自由高达150-200mg/L
包含有纳米级级硅粉颗粒剂,孔径多在100-500nm两者
有机肥料加热器端差较高,COD在500-800mg/L
带有少量高价属如铅、镉等
水的电导率高,一般在2000-3000μS/cm
治理 加工过程注意事项
为满足零污染物关键,工艺设备设计的概念着重点思考焦化废水总类搜集和环境资源回笼:
废液细分获得操作系统
:将含氟生产废水处理方法与别的生产废水处理方法隔开获取
电化学奠定除氟
:采取两极钙盐石雕文化沉淀自己法,紧密配合有效率石雕文化沉淀自己池
最高级钝化治理
:二钝化碳崔化钝化分解难加工无机物
膜浓缩提炼系统软件
:选取DTRO碟管式ro反渗透法,萃取7的倍数为10倍
化掉晶体
:MVR机械制造液体再缩小多效空调冷凝器处里浓水
空气干燥装置
:将析出盐干燥处理后是工业化的副物品外售
加工实际效果
装置操作数据源彰显:
氟化物彻底清除率>99.9%,出水出水氟阴离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,有水出COD<20mg/L
水产品收回率>95%,仅造成少量的成果盐
每一年可二手回收高品级循环水约七万之吨
析出盐纯净度高于工业园级标准规定,达到资源的化通过
该项目除了构建了电镀废水零释放,还按照资原收售创造自己了约80万/年的减半收入。