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半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例

新项目背静 该机构为全国进取的半导体行业公测机构,地处珠半圆地域,核心实行中高端处置器的小学划片和装封测试软件。原因地方优质需求严厉,机构决定的推进废水处置方法零尾气排放施工。工程于明年运行,202五年6月竣工投运,处置投资人规模为200吨/日,总投资人约2000万块人民币。 废液化学物质及渠道 本次目的性划区废液还具有下面的性能: 高氧化还原电位氟化物,大部分产自晶圆割孔后的除污步骤,氟阴阳离子氧化还原电位自由高达150-200mg/L 包含有纳米级级硅粉颗粒剂,孔径多在100-500nm两者 有机肥料加热器端差较高,COD在500-800mg/L 带有少量高价属如铅、镉等 水的电导率高,一般在2000-3000μS/cm 治理 加工过程注意事项 为满足零污染物关键,工艺设备设计的概念着重点思考焦化废水总类搜集和环境资源回笼: 废液细分获得操作系统 :将含氟生产废水处理方法与别的生产废水处理方法隔开获取 电化学奠定除氟 :采取两极钙盐石雕文化沉淀自己法,紧密配合有效率石雕文化沉淀自己池 最高级钝化治理 :二钝化碳崔化钝化分解难加工无机物 膜浓缩提炼系统软件 :选取DTRO碟管式ro反渗透法,萃取7的倍数为10倍 化掉晶体 :MVR机械制造液体再缩小多效空调冷凝器处里浓水 空气干燥装置 :将析出盐干燥处理后是工业化的副物品外售 加工实际效果 装置操作数据源彰显: 氟化物彻底清除率>99.9%,出水出水氟阴离子<1mg/L COD总去掉率>98%,有水出COD<20mg/L 水产品收回率>95%,仅造成少量的成果盐 每一年可二手回收高品级循环水约七万之吨 析出盐纯净度高于工业园级标准规定,达到资源的化通过 该项目除了构建了电镀废水零释放,还按照资原收售创造自己了约80万/年的减半收入。

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