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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

大型项目背景图 该半导体行业加工制造小区设在华南地域,总注资少于200万亿元,大部门分娩124英寸晶圆和最新封裝货品。小区日排污废出水量约5000吨,包函好几种生产工艺电镀废水清理工艺,清理一定的难度大。该项目规定电镀废水清理工艺清理后到《电子技术化工水影响物排污基准》(GB 39731-2020)尤其排污最大限度,部门循环率不不超过60%。 化工废水的成分及收入 含氟化工废水:一般出自于晶圆蚀刻、家电清洗多种工序,氟阴离子浓硫酸浓度高达模型200-500mg/L,pH值冲击大 有机会的废水处理方法:光刻、显影液、去胶等工艺流程有,COD渗透压300-800mg/L,富含异丙醇、甲苯等有机会的溶液 含铜生活污水:主轴电镀、电学机械性磨光(CMP)工作产生,铜阴离子浓度值50-150mg/L 强酸强碱工业废水:主设备家电清洗、烟气洗涤剂等方式形成,pH值在2-12范围内下降 粉磨废水处理方法:CMP工步产生了,含带纳米技术级二腐蚀硅科粒 进行处理技术标准流程 进行"归类征集+分质治理+深层治理"的组合成施工工艺: 含氟污废水 治理 线 : 二级化学上的析出:先污泥脱水氯化钙的调节pH至6-7,另加入PAC和PAM斜板发展池析出 活性酶氧化物铝吸附物:保障氟正离子酸度降下来5mg/L这 污泥干化经板框压滤后申请的专业救治 生产焦化废水外理线 : 微电解法设备预进行处理:铁碳微电解法设备分解大碳原子无机物 UASB生物滤池反應器:HRT=24h,COD祛除率>60% MBR膜生物制品影响器:用于PVDF中空中仟维膜,通量15LMH 含铜废水补救工艺补救线 : 药剂学水解:加药系统NaOH调低pH至9-10,形成了Cu(OH)2水解 阴阳阳离子对换:二级聚酯树脂对换有效确保铜阴阳阳离子<0.3mg/L 钛电极收废:部位生活污水经钛电极收废材料铜 网络综合加工设备 : 设定池:匀衡水体发电量,设水解酸化池攪拌 水泥混凝土析出:加药系统pp斜管沉淀池剂消除电解质溶液化学物质 臭氧老化崔化阳极氧化:可分解难可分解无机物 反覆盖体系:脱盐率>98%,产水造纸废水处理于生产加工线 厌氧颗粒污泥清理系统化 : 厌氧颗粒污泥提液池:固态物体溶液浓度从1%提高了至3% 离心力烘干:进入PAM修护,泥饼含水分率<75% 温度过低干化:地方淤泥干化至含水分率30%低于 最中效用 工程建设成加载后,每一项指数公式不稳及格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜亚铁离子<0.3mg/L、pH 6-9。循环水水质量到达GB/T 19923-2005轻工业使用水进行准则,循环率65%,年年节电新的水运用量约130万吨。厌氧颗粒污泥带来量以减少40%,的危险固体废物救治总成本影响35%。体系机械化层面高,免费在线评估数剧与环保健康部门实时公交连接。

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