该厂为8厘米晶圆种植线智能化的超注射用水控制系统，没天产生了含硅电镀废水150吨。电镀废一般的水都虽无天价属，但硅的含量高易积垢，且电容率需到达18MΩ·cm才循环。原先的治疗生产技术始终无法够满足新发布的《电子器件工业生产水被污染的物废气进行排放规则》（GB39731-2020）非常废气进行排放最大限度。 废污水组成成分性能 主要是影响物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、小粒硅（比表面积0.1-1μm） 比较特殊让 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 饮用水性状 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机物状态复杂性 治理 加工制作工艺 流程图 科学创新采用了"梯级膜转移+电去铝离子"团体工艺设备： 微滤预操作 ：1μm卫浴陶瓷膜屏蔽短信大颗粒物硅，通量达到80LMH 铁离子置换不饱和树脂 ：D201大孔不饱和树脂暂时性活性炭吸附硅酸碳原子 一级RO系统化 ：1、段收购 率60%，二、段运用高脱硼膜电气元件 EDI电去正离子 ：直流电密度单位2A/m²，一直快速清理的残留物阴阳离子 UV紫外线杀菌的 ：254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 技艺成效 研发专用箱阻硅剂（巧妙胺类黏结物），抑制膜感染时期3倍 EDI模块电源转型升级流道的设计，硅清除率发展至99.8% 再线硅分析一下仪（测量方法范围内0.1-500μg/L）确保优质的控制 开机运行取得成效 经三、方查重： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L降为0.3μg/L 控制系统回笼率从原40%提高自己至68% 膜更改周期时间提升至5年，年行驶人工成本减低35%