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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料电子器件生产厂在晶圆激光加工具体步骤中,用硅烷使用硅概念成长,废气清洗塔引发氨基磺酸镍值含硅生产废水进行处理。生产废水进行处理都具有pH波动性大(2-11)、硅份量高的亮点,传统的进行处理办法易冒出硅垢赌塞疑问。 废液化学成分及源 生产废水通常物质为: 溶解性性硅酸盐 :SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢阳极氧化钠 :洗條塔碱酸洗條液残留物 小粒硅 :nm级SiO₂胶体溶液 痕量砷 :材质其它杂物带 加工处理技术方法 多元化分为"多级采和+膜过滤系统+挥发析出"工艺流程: 七级中合 :用CaO调低pH至4-5,自动生成硅酸钙凝固,硅清理率60%。 二级考试与 :加Na₂CO₃将pH升高至9,进这一步沉淀物累计硅,串连用镁剂除砷。 反渗透膜体统 :0.02μm陶瓷厂家膜滤水纳米技术级硅科粒,通量稳定性在80LMH。 MVR汽化器 :溶缩高盐生产废水,晶体出Na₂SO₄副企业产品,水回收率超90%。 结果是成效 总硅从1500mg/L低于5mg/L下类 砷水平从0.8mg/L低于0.01mg/L 系统软件无积垢加载可超过2年 第年再利用氢氧化钾钠结晶体约800吨

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