某半导体材料电子器件生产厂在晶圆激光加工具体步骤中,用硅烷使用硅概念成长,废气清洗塔引发氨基磺酸镍值含硅生产废水进行处理。生产废水进行处理都具有pH波动性大(2-11)、硅份量高的亮点,传统的进行处理办法易冒出硅垢赌塞疑问。
废液化学成分及源
生产废水通常物质为:
溶解性性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢阳极氧化钠
:洗條塔碱酸洗條液残留物
小粒硅
:nm级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:材质其它杂物带
加工处理技术方法
多元化分为"多级采和+膜过滤系统+挥发析出"工艺流程:
七级中合
:用CaO调低pH至4-5,自动生成硅酸钙凝固,硅清理率60%。
二级考试与
:加Na₂CO₃将pH升高至9,进这一步沉淀物累计硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜体统
:0.02μm陶瓷厂家膜滤水纳米技术级硅科粒,通量稳定性在80LMH。
MVR汽化器
:溶缩高盐生产废水,晶体出Na₂SO₄副企业产品,水回收率超90%。
结果是成效
总硅从1500mg/L低于5mg/L下类
砷水平从0.8mg/L低于0.01mg/L
系统软件无积垢加载可超过2年
第年再利用氢氧化钾钠结晶体约800吨