半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高端品牌公测设施涉重污废水 ——MVR硬性间歇零排的项目
工作视频背景
光电器件材料一个测封的建设项目,人数150万m³/天,是首份光电器件材料测封相互配套涉重生产污废水 零排的建设项目。测封部分的镀镍、镀铜、引线架构图的清洗会有含镍含铜生产污废水 ,小区必须"无尾水外排",产水另一个工业废水处理于产线。
水体特殊性与关键点
废液以含镍应以(质量浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH浮动大(2–12),还有光刻胶无残留的一少部分有机酸物。首测厂现场紧,耍求加工处理服务设施土地征用小;零排表明着浓水可以建筑垃圾清运有很多,都要本地人多效蒸发晶粒闭环控制。
处里工序路经
整体化走"分质获得 → 预整理除杂 → 无机化学悠长岁月中除镍 → 过滤水 → UF+多级RO → MVR禁止嵌套循环汽化 → 蒸汽加热水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢阳极氧化反应钠转化Ni(OH)₂滤渣,加上塑炼钠深浅收集残留物镍(塑炼镍Ksp比氢阳极氧化反应镍更小,可以让镍压到0.1毫克/升这);
凝固溢水经多媒介过虑+安保过虑后进UF,再进3级RO,产水会回产线清洁工作;
RO浓水(含盐+残渣血本属)进MVR强行循环法法化掉器,强行循环法法能扛高含盐结渣,化掉器内置迅雷在线难以清理,不容易堵;
MVR冷凝水水回来循环养鱼池,化掉残液委外燃烧或做为危废处理加工,所有生产区无液态氨外排。
核心机器优缺说明书
MVR强行巡环比起高级降膜蒸馏,巡环流动速度高、热传导面不要结镍盐/碳酸盐垢,可以公测此类"排水量较小但环境质量杂"的场所;整体化撬装设汁征地赔偿比过去的蒸馏塘+多效蒸馏规划小60%上面的;有害气体侧配合生物学滤池,把调节器池和淤泥间的有害气体获取后光降解成CO₂和水,预防公测厂紧临办公楼区的异味重匿名举报。
整理效果好与效果
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,高于《电渡危害物排卸口的标准》表三;全都150立米米/天产水循环于测封产线除污,换用等量新鲜感水;垃圾(化掉残液+飞灰)量比传统意义"乳浊液+排卸口"机制减约70%。对富士康侧,测封内容环保健康许可卡点打架通;