半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
产品情况
该制造业公司园聚集地了十余家半导体材料相关内容制造业公司,构思日解决能力素质5000吨,可以解决出自于各种不同制造业公司的混后化工废污水。致使各制造业公司产出新工艺地域差异大,化工废污水化学成分错综复杂多种多样,解决难度很大较高。
废水处理成份及来源于
污水主要的各类三类:浓度值高值生产污水(光刻胶、定影液等)、含氟污水(刻蚀生产工艺)和腐蚀性污水(清晰生产工艺)。比较特殊组成各类异丙醇、四甲基氢氧化反应铵等难分解生产物,各类氟化物、化学需氧量等有机物造成的污染物质。污水COD价格波动大(500-3000mg/L),氟化物浓度值值100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
加工处理的流程的流程
运用"划分类别回收+分质治理 +集中授课长度治理 "的改革创新模式切换:
企业公司实物各类预外理:含氟污废水 单单收藏并预外理
园区规划管网工程等级分类运输系統
整体的调节池稳定水质标准
多级混疑积累洗去飘浮物和电解质溶液
便捷海洋生物作用器(HBR)处理有机化学影响物
老化促使被氧化化学降解难葡萄糖氧化充分物
反浸入软件做好脱盐正确处理
UV紫外线灯线杀菌消毒保持出液安全可靠
特别的快速设置了免费监测站程序和自动的投药程序,对付环境质量起伏较大。
终究郊果
操作系统启用一年来,工作的效果动态平衡正规。溢水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,以达到水资源Ⅳ类标,位置选择于开发区园林及放置混凝土冷却塔保湿,选择率可超过30%。每次缩减优质水选择约10万吨,为开发区企业主合理节省煤气费数千万的大写。